装载端口系列产品
为半导体晶圆传输提供技术解决方案
Load Port
洁净环境下,实现300mm FOUP/FOSB高精度对接与自动化传输,拥有自主研发核心技术,具备低振动和精准mapping功能,兼顾N2净化系统和抗腐蚀特性,保障晶圆传输洁净高效可靠,选配独特的旋转功能还可适配更多应用场景。满足您对功能、性能、安全的各项需求。
200mm SMIF
洁净环境下,实现200mm POD高精度对接与自动化传输,拥有自主研发核心技术,具备精准mapping功能及OHT对接能力,具备高适配性、高可靠性、高安全性等多项优势,满足您对功能、性能、安全的各项需求。
Tape Frame Foup Load Port
洁净环境下,实现380mm Tape Frame FOUP高精度对接与自动化传输,适用于先进封装技术,拥有自主研发核心技术,具备低振动和精准mapping功能,兼顾N2净化系统,具备高适配性、高可靠性、高安全性等多项优势,满足您对功能、性能、安全的各项需求。
Panel Foup Load Port
洁净环境下,实现510/600mm Panel FOUP高精度对接与自动化传输,适用于先进封装技术,拥有自主研发核心技术,具备低振动和精准mapping功能,具备高适配性、高可靠性、高安全性等多项优势,满足您对功能、性能、安全的各项需求。
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产品国产化
坚守国产化发展初心,聚焦核心产品自主研发与迭代。打破技术依赖,实现核心元器件、关键技术、整体产品的全链条国产化。以高标准、高可靠性为核心,打造符合国内市场需求、适配多种工艺应用的国产化产品。
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研发自主化
深耕自主研发赛道,组建专业研发团队。聚焦行业痛点与技术前沿,持续投入研发资源,突破关键核心技术瓶颈。公司拥有自主知识产权与核心技术储备。以创新筑牢企业核心竞争力。
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生产标准化
严格遵循行业标准,建立全流程标准化生产体系。从原材料采购、生产调试、质量检测到成品出库,每一个环节均实现规范化、标准化管控,确保产品质量稳定统一,满足客户对产品品质的高标准、严要求。
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服务即时化
秉持“客户至上、高效响应”的服务理念,组建专业服务团队,实现咨询、报价、售后等服务的快速响应。针对客户个性化需求,提供一对一专属服务方案,高效解决客户诉求,持续提升客户体验与满意度。