200mm SMIF

YAS200-S

YAS200-S是一款适用于洁净环境下200mm晶圆盒自动开盒器。拥有自主知识产权，具备高适配性、高可靠性、高安全性等多项优势。满足您对功能、性能、安全的各项需求。

Product Features 产品特点

  • High Cleanliness Class 1
    Multi-Slice Mapping Inspection
    Multiple RFID Reader Installation Positions
    Interlock Safety Mechanism
    Multiple Communication Interfaces/Protocols

  • 高洁净度 Class 1
    多片型 Mapping 检测
    RFID reader 多安装位
    Interlock
    多种通讯接口/协议

Available Options 可选配置

  • RFID/Smart Tag Functionality
    E84 Functionality
    Vertical and Desktop Versions
    Compatible with 200/150 mm Wafers

  • RFID/Smart Tag 功能
    E84 功能
    立式与桌面式
    兼容200/150 mm wafer

Standard Specifications 标准规格
项目 规格
Dimensions  外形尺寸 Desktop-type W381*D422.5*H760(mm)
Vertical-type W470*D430.5*H1386(mm)
Product Weight  产品重量 Desktop-type : 30kg Vertical-type : 60kg
CDA Pressure  气源压力 0.50～0.60 MPa(G) 10L/min(ANR)
Power Supply Voltage  供电电压 DC24V±5% 5A Fuse Current(熔断电流): 50A
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