Tape Frame Foup Load Port
YAS300-F
YAS300-F是一款适用于洁净环境下380mm Tape Frame FOUP 的自动开盒器，为后道工序提供自动化传输支持，拥有自主知识产权，具备高适配性、高可靠性、高安全性等多项优势。满足您对功能、性能、安全的各项需求。
Compatible with 380mm Tape Frame
High Cleanliness Class 1
Interlock Safety Mechanism
Multiple Communication Interfaces/Protocols
Low Vibration Performance
适配380mm带环晶圆框架
高洁净度 Class 1
lnterlock
多种通讯接口/协议
低振动性能
RFID/BCR Functionality
E84 Functionality
RFID/BCR 功能
E84 功能
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| Dimensions 外形尺寸 | W472 * D523 * H1386(mm) |
| Product Weight 产品重量 | 56kg |
| CDA Pressure 气源压力 | 0.50～0.60 MPa (G)) 30 L/min (ANR) |
| VAC Pressure 真空压力 | -65±5 kPa (G) 10 L/min (ANR) |
| Power Supply Voltage 供电电压 | DC24V±5% 3A Fuse Current(熔断电流): 50A |
联系电话
024-31692118
联系邮箱
sales@yuansemi.com
公司地址
辽宁省沈阳市浑南区新岛街3-1号
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