Panel Foup Load Port
YASPLP-510S
YASPLP-510S是一款适用于洁净环境下510mm Panel FOUP自动开盒器。拥有自主知识产权，具备高适配性、高可靠性、高安全性等多项优势。满足您对功能、性能、安全的各项需求。
Compatible with Large Panels
High Cleanliness Class 1
Multi-Slice Mapping Inspection
Interlock Safety Mechanism
Multiple Communication Interfaces/Protocols
适配大型 Panel
高洁净度 Class 1
多片型 Mapping 检测
lnterlock
多种通讯接口/协议
RFID Functionality
E84 Functionality
Info Pad Pin Type
RFID 功能
E84 功能
Info Pad Pin 类型
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| Dimensions 外形尺寸 | W709 * D604 * H1579(mm) |
| Product Weight 产品重量 | 140kg |
| CDA Pressure 气源压力 | 0.50 ~ 0.60 MPa (G) 50 L/min (ANR) |
| VAC Pressure 真空压力 | -61 ± 10 kPa (G) 10 L/min (ANR) |
| Power Supply Voltage 供电电压 | DC24V+5% 6A Fuse Current(熔断电流):50A |
联系电话
024-31692118
联系邮箱
sales@yuansemi.com
公司地址
辽宁省沈阳市浑南区新岛街3-1号
官方公众号
