Load Port
YAS300-S
YAS300-S是一款适用于洁净环境下300mm晶圆盒自动开盒器。拥有自主知识产权，具备高适配性、高可靠性、高安全性等多项优势。满足您对功能、性能、安全的各项需求。
High Cleanliness Class 1
Multi-Slice Mapping Inspection
Interlock Safety Mechanism
Multiple Communication Interfaces/Protocols
Low Vibration Performance
高洁净度 Class 1
多片型Mapping检测
Interlock
多种通讯接口/协议
低振动性能
RFID and BCR Functionality
E84 Functionality
Compatible with 300/200 mm Wafers
Info Pad Pin Type
Transparent Wafer Protrusion Detection Function
RFID 和 BCR 功能
E84功能
兼容300/200 mm wafer
Info Pad Pin类型
透明wafer凸出检测功能
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| Dimensions 外形尺寸 | W472 * D493 * H1386(mm) |
| Product Weight 产品重量 | 54.5kg |
| CDA Pressure 气源压力 | 0.50～0.60 MPa (G) 30 L/min (ANR) |
| VAC Pressure 真空压力 | -65±5 kPa (G) 10 L/min (ANR) |
| Power Supply Voltage 供电电压 | DC24V±5% 3A Fuse Current(熔断电流):50A |
联系电话
024-31692118
联系邮箱
sales@yuansemi.com
公司地址
辽宁省沈阳市浑南区新岛街3-1号
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