Rotation Load Port
YAS300-X
YAS300-X是一款适用于洁净环境下300mm晶圆盒自动开盒及附带旋转功能的开盒器，实现特殊工况下wafer的高效传输，拥有自主知识产权，具备高适配性、高可靠性、高安全性等多项优势。满足您对功能、性能、安全的各项需求。
180-Degree Rotation
High Cleanliness Class 1
Multi-Slice Mapping Inspection
Interlock Safety Mechanism
180°旋转
高洁净度 Class 1
多片型 Mapping 检测
lnterlock
RFID Functionality
E84 Functionality
Transparent Wafer Protrusion Detection Function
Info Pad Pin Type
RFID 功能
E84 功能
透明wafer凸出检测功能
Info Pad Pin 类型
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| Dimensions 外形尺寸 | W472 * D513.5 * H1386(mm) |
| Product Weight 产品重量 | 75kg |
| CDA Pressure 气源压力 | 0.50～0.60 MPa (G) 30 L/min (ANR) |
| VAC Pressure 真空压力 | -65±5 kPa (G) 10 L/min (ANR) |
| Power Supply Voltage 供电电压 | DC24V±5% 5A Fuse Current(熔断电流): 50A |
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024-31692118
联系邮箱
sales@yuansemi.com
公司地址
辽宁省沈阳市浑南区新岛街3-1号
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