N2 Purge Load Port
YAS300-N
YAS300-N是一款适用于洁净环境下300mm晶圆盒自动开盒及附带氮气底部自动purge功能的开盒器。在wafer传输过程中，极大的减少氧气和湿气的影响，保护wafer免受污染。拥有自主知识产权，具备高适配性、高可靠性、高安全性等多项优势。满足您对功能、性能、安全的各项需求。
High Filtration Performance Module
High Cleanliness Class 1
Multi-Slice Mapping Inspection
Interlock Safety Mechanism
Low Vibration Performance
高过滤性能模块
高洁净度 Class 1
多片型 Mapping 检测
Interlock
低振动性能
Compatible with Trapezoidal and Rectangular Interfaces
Compatible with Three-In/Two-In Air Inlets
Single Flow/MFC
RFID / BCR Functionality
E84 Functionality
兼容梯形和矩形接口
兼容三进/两进进气
单一流量/ MFC
RFID / BCR 功能
E84 功能
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| Dimensions 外形尺寸 | W472 * D493 * H1386(mm) |
| Product Weight 产品重量 | 80kg |
| CDA Pressure 气源压力 | 0.50~0.60 MPa(G) 30 L/min (ANR) |
| Nitrogen Pressure 氮气压力 | 0.40~0.60 Mpa(G) max 200 L/min(ANR) |
| VAC Pressure 真空压力 | -65±5 kPa (G) 10 L/min (ANR) |
| Power Supply Voltage 供电电压 | DC24V±5% 3A Fuse Current(熔断电流): 50A |
联系电话
024-31692118
联系邮箱
sales@yuansemi.com
公司地址
辽宁省沈阳市浑南区新岛街3-1号
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