OHT SMIF
YAS200-S2是一款适用于洁净环境下200mm晶圆盒自动开盒器，具备与OHT的对接能力。拥有自主知识产权，具备高适配性、高可靠性、高安全性等多项优势。满足您对功能、性能、安全的各项需求。
High Cleanliness Class 1
Multi-Slice Mapping Inspection
Multiple RFID Reader Installation Positions
Interlock Safety Mechanism
Multiple Communication Interfaces/Protocols
Capability to Interface with OHT
高洁净度 Class 1
多片型 Mapping 检测
RFID reader 多安装位
Interlock
多种通讯接口/协议
对接OHT能力
RFID/Smart Tag Functionality
Compatible with 200/150 mm Wafers
RFID/Smart Tag 功能
兼容200/150 mm wafer
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| Dimensions 外形尺寸 | W472*D458*H1386(mm) |
| Product Weight 产品重量 | ＜60kg |
| CDA Pressure 气源压力 | 0.50～0.60 MPa(G) 10L/min(ANR) |
| Power Supply Voltage 供电电压 | DC24V±5% 5A Fuse Current(熔断电流): 50A |
联系电话
024-31692118
联系邮箱
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公司地址
辽宁省沈阳市浑南区新岛街3-1号
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